これらのカートリッジ ヒーターは、クリーンルーム環境で最大 600 度の温度で連続的に動作する必要があるウェーハ処理装置で使用するために特別に設計されています。半導体製造装置業界の大手企業である日本のクライアントは、チップ製造に必要な超クリーンな状態を維持するために、優れた熱安定性と極めて低いガス放出特性を備えたヒーターを必要としていました。-当社の技術チームは、優れた高温酸化耐性のために選ばれたステンレス鋼 310S シース素材と、特殊な低ガス放出酸化マグネシウム絶縁グレードを特徴とするカスタム設計を開発しました。-
これらの高温ヒーターの製造には、いくつかの特殊なプロセスが必要です。{0}高純度の鉄-クロム-アルミニウム合金でできた抵抗線は、加熱された長さ全体に沿って均一な発熱を保証するために、正確なピッチ制御で巻かれています。巻かれたアセンブリは 310S ステンレス鋼チューブに挿入され、ガス放出の原因となる可能性のある表面汚染物質を除去するために特別な内部研磨プロセスが行われます。 MgO の充填プロセスは、高温動作時のガス発生につながる可能性がある吸湿を防ぐために、湿度が制御された環境で行われます。-充填後、チューブは必要な圧縮密度を達成するためにスエージ加工され、残留水分を除去して内部構造を安定させるために真空炉内で高温アニーリング プロセスを受けます。-
